浙江大学邱建荣教授联合昆明理工大学陈智教授、宁波大学钟理京研究员、华中科技大学张静宇研究员、新加坡国立大学仇成伟教授团队提出了一种新型的纳米制造技术——湿化学刻蚀辅助的单脉冲飞秒激光增强光刻技术（WEALTH），该技术能够在大面积上制造具有高纵横比和小特征尺寸

纳米 刻蚀 纳米结构 纵横比 化学刻蚀 2025-09-08 20:29  2